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H型泛塞封弹簧
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晶圆传输设备密封中的泛塞封H型弹簧
  • 晶圆传输设备密封中的泛塞封H型弹簧
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晶圆传输设备密封中的泛塞封H型弹簧

  • 产品名称:晶圆传输设备密封中的泛塞封H型弹簧
    产品类别:密封圈
    形状:H型圈
    适用范围:汽车元件、化工管道、航空航天、石油化工、半导体等行业
    旋向:左旋/右旋
    性质:耐高温、耐低温、耐腐蚀、耐磨损
    材质:不锈钢、合金材质、镍基合金、PTFE、碳纤维等多种材料可定制
产品详细
       在晶圆搬运机器人、晶圆传送轨道等设备的密封环节,泛塞封 H 型弹簧可用于密封运动部件与固定部件之间的间隙,既能保证部件的灵活运动,又能防止灰尘、颗粒等污染物进入,避免对晶圆造成污染,影响芯片制造质量。

       在晶圆传输过程中,设备内部可能会存在不同的压力区域,如在真空环境下传输或在有一定气体压力的腔室内传输等。H 型弹簧可根据压力的变化自动调整对泛塞封的作用力,使泛塞封在不同压力条件下都能实现有效的密封。
       晶圆传输设备在运行时,需要防止外界的灰尘、颗粒等杂质进入设备内部污染晶圆,同时也需避免内部的气体、化学物质等泄漏出去。泛塞封 H 型弹簧能为泛塞封提供持续稳定的弹力,使泛塞封的密封唇始终紧密贴合在传输设备的密封部位,如机械手臂的关节处、传输轨道的接口以及晶圆承载装置的边缘等,确保良好的密封效果。


 
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