用于晶圆传输设备密封的泛塞封H型弹簧
发布时间：2025-01-15 10:55:52来源：
在晶圆传输设备中的作用
维持密封性能：晶圆传输设备在运行时，需要防止外界的灰尘、颗粒等杂质进入设备内部污染晶圆，同时也需避免内部的气体、化学物质等泄漏出去。泛塞封 H 型弹簧能为泛塞封提供持续稳定的弹力，使泛塞封的密封唇始终紧密贴合在传输设备的密封部位，如机械手臂的关节处、传输轨道的接口以及晶圆承载装置的边缘等，确保良好的密封效果。
补偿尺寸误差和运动偏差：晶圆传输设备的各部件在制造和装配过程中可能存在一定的尺寸误差，且在运行过程中会因热胀冷缩、机械振动等因素产生微小的变形和位移。H 型弹簧具有良好的弹性变形能力，可在一定范围内补偿这些尺寸误差和运动偏差，保证泛塞封与密封表面的贴合度，维持密封的可靠性。
适应不同压力环境：在晶圆传输过程中，设备内部可能会存在不同的压力区域，如在真空环境下传输或在有一定气体压力的腔室内传输等。H 型弹簧可根据压力的变化自动调整对泛塞封的作用力，使泛塞封在不同压力条件下都能实现有效的密封。
相比其他类型弹簧的优势
弹力均匀性更好：与 V 型、U 型等弹簧相比，H 型弹簧的结构使其在压缩和伸展过程中能提供更均匀的弹力分布，能更均衡地推动泛塞封的密封唇与密封面接触，减少密封薄弱点，提高整体密封性能。
抗变形能力较强：相较于 O 型弹簧，H 型弹簧具有更高的抗变形能力。O 型弹簧在承受较大压力或长时间使用后可能会出现变形、弹性衰减等问题，而 H 型弹簧的结构更稳固，能在晶圆传输设备的复杂工况下保持较好的形状和弹性，延长
使用寿命。
空间适应性佳：晶圆传输设备的密封空间通常较为紧凑，H 型弹簧的形状设计使其能在有限的空间内发挥良好的弹性性能，相比 S 型等弹簧，H 型弹簧在相同的空间占用下能提供更合适的弹力，更便于安装和使用。
应用要求
材料选择：为防止对晶圆和传输设备造成污染，H 型弹簧一般采用高纯不锈钢、铍铜合金等材料，这些材料具有良好的抗腐蚀性和低杂质释放特性。同时，为进一步提高性能，弹簧表面可进行镀镍、镀聚四氟乙烯等处理。
尺寸精度：由于晶圆传输设备对密封要求极高，H 型弹簧的尺寸精度要求非常严格。弹簧的丝径、圈径、高度等参数都需要精确控制，以确保与泛塞封和密封沟槽的尺寸完美匹配，实现最佳的密封效果。
安装与维护：安装时，需确保 H 型弹簧在泛塞封内安装到位，避免出现歪斜、扭曲等情况，以免影响弹簧的弹力输出和泛塞封的密封性能。在设备的运行过程中，要定期检查弹簧的状态，如发现弹簧有腐蚀、变形、疲劳裂纹等问题，应及时更换。
泛塞封 H 型弹簧在晶圆传输设备密封中扮演着不可或缺的角色。其独特的结构、优良的材料特性以及出色的工作性能，使其能够满足晶圆传输设备对密封的高洁净度、高稳定性和高适应性要求。通过有限元模拟和实验验证，进一步证明了 H 型弹簧在实际应用中的可靠性和有效性。
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